行業解決方案

微電子與半導體行業---固晶機

發布時間 : 2017-06-16 10:08:18瀏覽量:1483

  微電子與半導體行業---固晶機

  需求:高速高精度,整套工藝動作單臂120ms,固晶臂擺動角度 175度;

  固晶動作定位精度2-5u;更為重要的是固晶時需要停得穩,停得準。

  固晶機產量巨大,對自動固晶動作的速度和準確度提出了極為嚴苛的要求,在高頻率 擺臂動作中,要實現5u的固晶精度。為了達到這些嚴苛要求,需要一系列復雜的機械和控制技術。恒昱控制的HY5800運動控制卡,為滿足高速高精度的點位運動需求,提供了令人滿意的性能平臺。提供了完美的運動速度控制曲線,定制了行業工藝函數,徹底杜絕了速度波動毛刺,完成了高速平穩的固晶運動。

  系統架構:PC+運動控制器HY5800+驅動器+電機+固晶機擺臂機構+XYZ平臺